Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Установка плазмо-химического осаждения с параллельными пластинами SI 500PPD Parallel Plate PECVD Deposition System

Тип, марка - SENTECH Instruments GmbH

Поставщик - ЭНЕРГОАВАНГАРД, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

SI 500PPD Parallel Plate PECVD Deposition System - установка плазмо-химического осаждения с параллельными пластинами (PECVD)
- Превосходная однородность, прекрасная воспроизводимость при осаждении диэлектриков
- Вакуумный загрузочный шлюз
- Операции контролируются компьютером
- Программное обеспечение SENTECH Software
- Диаметр обрабатываемых пластин до 200мм.
- Установка через стену (опция)
- Кассетная станция
- Эллипсометр in-situ (определение толщины осаждаемого слоя)

PECVD система с параллельными пластинами SI 500 PPD предназначена для нанесения пленок SiO2 и Si3N4 на полупроводниковые подложки, в частности нанесения масок для травления и пассивирующих слоев.

Плазма генерируется ВЧ источником (13,56 МГц) на верхнем электроде. Переменный импеданс плазмы автоматически согласуется с 50 Ом выхода генератора. Рабочие газы подаются в реактор через распылительную головку, встроенную в верхний электрод.

Электрод подложки рассчитан для работы с пластинами/держателеми диаметром 2”,3”,4”,6”,8”. Электрод заземлен, его температура контролируется в диапазоне 20°C … 350°C.Осаждение достаточно качественных пленок при температуре 350°C.

Вакуумная система разработана для обеспечения напорного потока в соответствии с требованиями PECVD процесса. Автоматический дроссельный регулятор поддерживает давление в реакторной камере независимо от потока газа, постоянность которого обеспечивается контроллером расхода газа. Таким образом достигаются четкие и воспроизводимые условия осаждения.

Система управляется с помощью аппаратного и программного обеспечения с архитектурой клиент-сервер. Контроллер удаленного доступа (RFC) служит для управления всеми компонентами системы в режиме реального времени через последовательную шину данных (Interbus). Основные защитные блокировки реализуются посредством RFC. Современный ПК с операционной системой Windows XP дает возможность управлять процессом, устанавливать защиту от ошибок оператора, визуализировать параметры процесса и т.д.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз