Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Установка реактивно-ионного травления SI 100

Тип, марка - SENTECH Instruments GmbH

Поставщик - ЭНЕРГОАВАНГАРД, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

SI 100 - компактная установка реактивно-ионного травления (RIE) настольного типа:
- Бюджетная система RIE плазменного травления
- Большой размер электрода
- Стартстопный режим
- Высокая пропускная способность
- Компактный дизайн

SI 100 – система для стандартного RIE процесса. Продуктивный и надежный процесс травления для 4” пластин. Система может быть пригодна для производства GaAs устройств. Единовременная загрузка до семи пластин диаметром 4”.

Алюминиевая реакторная камера внутренним диаметром 360 мм включает электрод подложки диаметром 320 мм. Пластины загружаются на электрод подложки вручную.

Две газовые линии контролируются вручную используя игольчатые клапаны. Реакторная камера откачивается роторным насосом с производительностью 16 м3/час. Давление измеряется с помощью манометра Пирани.

Плазма генерируется с использованием источника мощностью 300 Вт и частотой 13,56 МГц. Сопротивление автоматически согласуется 50 Ом на выходе генератора.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз