Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Установка реактивно-ионного травления ETCHLAB 200

Тип, марка - SENTECH Instruments GmbH

Поставщик - ЭНЕРГОАВАНГАРД, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

ETCHLAB 200 - установка реактивно-ионного травления (RIE):
- Бюджетная система RIE плазменного травления
- Возможность апгрейда вакуумным загрузочным шлюзом (опция)
- Возможность апгрейда турбомолекулярных насосов (опция)
- Программное обеспечение SENTECH Software
- Компактный дизайн
- Диаметр обрабатываемых пластин до 200мм.

Система травления ETCHLAB 200 производства SENTECH Instruments GmbH предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления.

В базовой конфигурации (без вакуумного загрузочного шлюза - фторная химия) система ETCHLAB 200 успешно применяться для широкого спектра процессов, таких как травление диэлектриков (SiO2, Si3N4), полупроводников (Si), полимеров и металлов (Au, Pt, Ti, Ni).

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз