Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500C PTSA ICP Cryo plasma etcher

Тип, марка - SENTECH Instruments GmbH

Поставщик - ЭНЕРГОАВАНГАРД, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

SI 500C PTSA ICP Cryo plasma etcher - установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме (ICP-RIE):
- Превосходная однородность, прекрасная воспроизводимость при травлении
- Высокая скорость травления
- Низкий уровень повреждений
- Высокое аспектное отношение
- Очень гладкие стенки
- PTSA - (P)lanar (T)riple (S)piral (A)ntenna источник ICP
- Широкий диапазон температуры подложки: - 150°С до 400°С
- Вакуумный загрузочный шлюз
- Операции контролируются компьютером
- Программное обеспечение SENTECH Software
- Диаметр обрабатываемых пластин до 200мм.
- Установка через стену (опция)
- Интерферометр (определение скорости травления, окончания процесса - endpoint detection)

-Система криогенного травления SI 500С PTSA ICP Cryo plasma etcher производства SENTECH Instruments GmbH идеальный выбор для проведения высокоскоростного плазмо-химического травления кремния при создании MEMS структур и микрооптики.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз