Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Арсенидный модуль МЛЭ

Тип, марка - МЛЭ

Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Платформа НаноФаб 100 включает сверхвысоковакуумные модули МЛЭ двух типов, которые предназначены для получения полупроводниковых гетероструктур на основе арсенидов и нитридов металлов III группы и могут быть использованы, в частности, для создания СВЧ приборов и монолитных интегральных микросхем:
- MESFET GaAs;
- pHEMT AlGaAs;
- Ga(Al)N для мощных СВЧ транзисторов.
Модули МЛЭ содержат оригинальное устройство переворота образца на 180C вокруг горизонтальной оси для совмещения вертикальной геометрии камеры роста ("лицом вниз") с требованиями методов ФИП и СЗМ к ориентации поверхности структур "лицом вверх". К числу других особенностей относятся конструкция держателя подложки, специально разработанная для работы с сапфировыми подложками, нагрев поверхности подложки до 1100 С при частоте вращения 1 Гц, коррозионно-стойкая безмасляная система откачки, внутренние поверхности манипулятора защищены от потока аммиака, а внешние - от воздействия высокой температуры.

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз