Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Модуль УВБ – 200 для технологического оборудования микроэлектроники и нанотехнологий

Поставщик - Научно-Исследовательский Институт Точного Машиностроения (НИИТМ) , ОАО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Универсальный вакуумный базовый модуль «Модуль УВБ – 200» предназначен для оснащения вакуумного оборудования различных технологических процессов микроэлектроники и нанотехнологий при обработке подложек диаметром до 200 мм на основе собственных реакторов и технологических процессов Заказчика.

Модуль включает:
- Каркас (1).
- Прогреваемую загрузочную камеру (2).
- Шлюзовую систему загрузки-выгрузки (3, 4, 14).
- Турбомолекулярный насос (6).
-Форвакуумные насосы (7).
- Регулируемую дроссельную заслонку вакуумной магистрали (5).
- Вакуумные датчики (11, 12, 13) и клапаны.
- Гидравлическую (8) и пневматическую (10) системы охлаждения.
- Элементы электрокоммутации (9).
Начало выпуска модулей – 4 кв. 2008 года

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз