Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Модуль PC

Тип, марка - PC

Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Модуль плазменной очистки - модуль PC (Plasma Cleaning)
Плазменные модули являются полностью автоматизированными шлюзовыми установками поштучной обработки полупроводниковых пластин. Они снабжены генератором плазмы высокой плотности со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13.56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Модуль PC:
- обработка в плазме водорода и в атомарном водороде.

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз