Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Рентгеновская система Vektor-DCD

Поставщик - Сигм плюс, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

В приборе Vektor-DCD используется классическая двухкристальная измерительная схема, обеспечивающая лучшее из возможных сочетание разрешения и интенсивности при измерениях эпитаксиальных пластин с низкой плотностью дислокаций, таких как структуры GaAs для ВПЭ-транзисторов, InP для производства оптоэлектронных приборов и SiGe для биполярных гетеротранзисторов.

При работе с пластинами, для которых интенсивность подложечных пиков превышает 5 млн. cps и шириной пика менее 10 арк секунд, Vektor-DCD обеспечивает качество данных лучше многих многокристальных дифрактометров. Также как и все остальные приборы серии Vektor, Vektor-DCD оборудован подвижным столиком (размером 200 мм в Х и Y направлениях) для проведения измерений по площади образца, а также может быть оснащен стандартным роботом с системой предварительного совмещения Genmark для полной автоматизации работы. Возможно измерение образцов диаметром от 50 до 200 мм. Доступен целый ряд различных кристаллов для монохроматора от InP (004) и GaAs(004) до Si(004).

Измерение профиля Ge в гетероструктурах SiGe для биполярных транзисторов с изменяемой базой

В настоящий момент рентгеновская дифракция является наиболее популярным методом для измерения профиля Ge в биполярных транзисторах на основе структур SiGe. Однако с уменьшением толщины слоев обычные рентгеновские дифрактометры теряют чувствительность, необходимую для точного определения толщин слоев. Рентгеновская оптика Vektor обеспечивает точность и повторяемость, необходимую для контроля новейших структур SiGe.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз