Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Система Q240AT

Поставщик - Сигм плюс, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

аиболее эффективное решение для измерений ошибок совмещения на 200 миллиметровых пластинах

Система Q240AT использует ту же методику измерений, что разработана для overlay-установки Caliper elan 300 мм, обеспечивая при более низких затратах такое же высокое качество измерений пластин диаметром до 200 мм.

Мощный, экономичный и быстрый overlay-контроль

Все больше и больше пользователей Caliper йlan убеждаются в том, что технология, используемая сейчас и в Q240AT, дает возможность проводить измерения на протяжении всего технологического процесса. Введение новых функций и значительные улучшения в оптике и программном обеспечении позволяют overlay-метрике Nanometrics обеспечивать контроль на необходимом уровне во всех ключевых областях микроэлектроники. Система Q240AT демонстрирует стабильно высокую производительность даже при измерениях образцов с низким контрастом и шероховатыми слоями, освобождая технологов от необходимости проводить дополнительную настройку, которая требуется для других overlay-систем. Кроме того, Q240AT работает в оптимальном режиме без использования каких-либо специальных приставок или дополнительного оборудования, приводящего к снижению пропускной способности системы.

SynRG (Synthetic Recipe Generator) – синтетический генератор рецептов, новое приложение для Q240AT, предназначенное для создания алгоритмов измерения и не требующее наличия тестового образца. После получения деталей конфигурации устройства SynRG обрабатывает их для создания алгоритма измерения, автоматически оптимизированного под продукт и процесс. Используя передовые методы симуляции изображений, SynRG может моделировать реальные картины и генерировать рецепты, устойчивые к отклонениям, которые обычно встречаются в полупроводниковой промышленности.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз