Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Сенсор реального времени EpiRAS

Поставщик - Сигм плюс, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Появление в конце 90-х уникального сенсора реального времени EpiRAS изменило существовавшие на тот момент подходы к контролю эпитаксиальных процессов. Впервые появилась возможность непосредственно во время ростового процесса проводить измерения скорости роста, состава и концентрации примеси в эпитаксиальном слое, определять ре-альную температуру на поверхности пластины.

На сегодняшний день EpiRAS 200/2000 по-прежнему обеспечивает исследователей и технологов наиболее полной информацией о ростовом процессе. EpiRAS 2000 разработан для планетарных MOCVD и различных MBE реакторов на несколько подложек, в то время как EpiRAS 200 предназначен для работы в реакторах с одной пластиной. Оба сенсора имеют компактный дизайн и включают в себя измерительный оптический блок, управляющую систему и многофункциональное программное обеспечение, позволяющее получать результаты измерений непосредственно во время роста. Оба сенсора доступны в версии EpiRAS ТТ, дополнительно обеспечивающей в реальном времени измерение температуры поверхности подложки с точностью лучше 1 К.

Применения:
- Соединения А3В5
- Нитриды
- Соединения А2В6
- Соединения А4В4
- Анализ результатов измерений в реальном времени, контроль толщины эпитаксиальной пленки и скорости роста с точностью до одного монослоя
- Измерения состава тройных соединений непосредственно во время роста
- Отслеживание в реальном времени концентрации легирующей примеси в диапазоне 1017-5•1018 см-3
- Прямой контроль стехиометрии и морфологии поверхности роста, мониторинг процесса формирования гетероинтерфейсов
- Измерение температуры поверхности роста с точностью 1 К (версия ТТ)

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз