Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Вакуумная установка ионно-плазменного травления наноструктур "НаноПлазма"

Поставщик - Научно-Исследовательский Институт Точного Машиностроения (НИИТМ) , ОАО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Назначение и применение:
реактивно-ионное травление проводящих и диэлектрических материалов для формирования наноструктур и микроэлектронных механических систем (МЭМС).

Оснащение:
- рабочая камера с ВЧ-реактором реактивно-ионного травления подложек диаметром до 150 мм.
- шлюзовая система поштучной загрузки - выгрузки подложек
- химически стойкие средства откачки и измерения вакуума: турбомолекулярный и форвакуумные насосы, вакуумметры, баротроны
- гелиевое охлаждение подложек на рабочем столе
- многоканальная (2-6) газовая система
- микропроцессорная система управления
- встраивается в "чистую" комнату.

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз