Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Вакуумный загрузочный модуль ВЗМ-200

Поставщик - Научно-Исследовательский Институт Точного Машиностроения (НИИТМ) , ОАО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Назначение:
на основе вакуумного загрузочного модуля и специализированных реакторов (рабочих камер) создается унифицированное вакуумное оборудование для технологических процессов микро- и наноэлектроники.
Оснащение:
- прогреваемая (охлаждаемая) загрузочная камера подложек диаметром до 200 мм (200х200 мм).
- шлюзовые камеры загрузки-выгрузки подложек или подложкодержателя: поштучно, из кассеты
- турбомолекулярный или криогенный высоковакуумный насос
- форвакуумный безмаслянный насос.

Модуль осуществляет:
- загрузку-выгрузку подложек через шлюзовую камеру,
- откачку загрузочной камеры и реактора до 3х10 в -5 степени Па,
- откачку камеры шлюзования до 5х10 в - 1 степени Па,
- измерение форвакуума, высокого вакуума и контроль рабочего давления с высокой точностью,
- защиту вакуумных датчиков давления от воздействия агрессивных сред,
- охлаждение реактора и подготовку воздуха.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз