Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-757

Тип, марка - ЛЭФ-757

Поставщик - Институт физики полупроводников СО РАН

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Многоугловой быстродействующий лазерный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и объемных материалов. Измерение параметров производится посредством анализа состояния поляризации отраженного от поверхности образца поляризованного монохроматического пучка света с последующим математическим расчетом физических параметров.

Эллипсометр создан на основе быстродействующей двухканальной статической схемы, в которой оптические параметры вычисляются по четырем электрическим сигналам одновременно считываемым с четырех фотоприемников. Время измерения ограничено только быстродействием приемно-усилительного тракта и оцифровкой сигналов.

Эллипсометр отличается:
- высокой точностью благодаря стабильному лазерному источнику света, термостабильному компенсатору и низкошумящим фотоприемникам;
- предельно высокой скоростью измерений даваемой статической схемой;
- удобным изменением выбранного для условий измерений угла падения;
- поддержкой многоугловых измерений для сложных, многослойных структур и толстых пленок.

Программное обеспечение включает в себя библиотеку моделирования и фиттинга эллипсометрических измерений, библиотеку материалов для длины волны 632,8 нм.

Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-757 является первой в РФ промышленно- ориентированной моделью автоматического эллипсометра для технологического контроля.

Дополнительные возможности:
- установка на вакуумную камеру;
- комплект поставки с малогабаритной вакуумной камерой;
- микрофокусирующие насадки.

Эллипсометр может быть установлен на вакуумную камеру для контроля протекания различных кинетических процессов в реальном времени Поставляется в комплекте с поляризационно-стойкими вакуумными окнами. Эллипсометр может быть поставлен в комплекте с малогабаритной вакуумной камерой давление остаточных газов 10-6 Па, температурный диапазон 20 - 500С, термопарный датчик температуры, оцифровка и запись показаний термопары Камера поставляется в качестве опции.
Эллипсометр может быть укомплектован микрофокусирующей насадкой для измерения локальных объектов и предметным столиком для образцов диаметром до 200 мм Размер светового пятна - 10 мкм Микронасадка и столик поставляются в качестве опции.

Электронный адрес: rhl@isp.nsc.ru
Сайт http://www.thinlayers.ru/

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз