Каталог
Спектральный эллипсометр Эллипс-1891
Тип, марка - Эллипс-1891
Поставщик - Институт физики полупроводников СО РАН
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких. В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением.Использование новой измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.
Спектроэллипсометр отличается:
- универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
- однозначночностью вычисления эллипсометрических парамеров: они измеряются в полном диапазоне их значений ( Ψ - от 0 до 90 градусов; Δ - от 0 до 360 градусов ) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.
Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.
Дополнительные возможности
Спектральный эллипсометр может альтернативно устанавливаться на технологическую камеру (in- situ вариант).
Электронный адрес: rhl@isp.nsc.ru
Сайт http://www.thinlayers.ru/
