Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Персоны

Орликовский Александр Александрович

Директор ФТИАН

Дата рождения: 12.06.1938 г.

Доктор технических наук (1982), профессор (1984), член-корреспондент РАН (2000), академик РАН (2006).
Председатель Научного совета «Перспективные технологии и приборы микро- и наноэлектроники, элементы квантовых компьютеров» Отделения информационных технологий и вычислительных систем РАН, член бюро Отделения, заместитель главного редактора журнала «Микроэлектроника».
Автор более 250 научных статей и монографий.
В 1961 году окончил Московский инженерно-физический институт по кафедре электроники.
1961-1963 годы - работал в Союзном научно-исследовательском институте приборостроения.
1963 - 66 годы – обучался в аспирантуре Московского института электронного машиностроения. Работал над диссертацией в НИИ «Пульсар». После защиты кандидатской диссертации работал старшим преподавателем, доцентом Московского института электронной техники.
1981 – 1985 годы - старший научный сотрудник сектора микроэлектроники.
С 1985 года - заведующий лаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов Института общей физики АН, с 1988 года Физико-технологического института РАН.
С 2001 года - заместитель директора по научной работе.
С 2005 года - директор Физико-технологического института РАН.

До 1981 года разрабатывал физические и схемотехнические проблемы полупроводниковой памяти, что получило внедрение в электронной промышленности, выполнил ряд пионерских работ в этой области.
С 1981 года работает в области физических основ технологических процессов микро- и наноэлектроники. Это циклы работ по технологии молекулярно-пучковой эпитаксии арсенида галлия на кремнии, по проблеме силидизации контактов в КМОП-технологии, технологии плазмохимического осаждения и травления (теория и эксперимент), мониторингу плазмохимических процессов, технологии имплантации сверхмелкозалегающих р-п переходов, разработке широкоапертурных источников плотной плазмы, разработке полностью автоматизированного плазмохимического оборудования, в том числе, плазмо-иммерсионных имплантеров.
Работает над созданием технологии твердотельных квантовых компьютеров и технологии МДП-транзисторов с длинами канала порядка 10 нм, включая квантовое описание характеристик таких транзисторов.
Источник: ФТИАН
 

TOP100 самых популярных
персоналий
за месяц
Место Наименование Показов

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз