Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Персоны

Горнев Евгений Сергеевич

Заместитель генерального директора по науке и развитию "Научно-исследовательского института молекулярной электроники и завода Микрон", член редакционной коллегии журнала "Нано- и микросистемная техника"

Доктор технических наук (2000), профессор, член редакционной коллегии журнала "Нано- и микросистемная техника".

Автор 269 научных работ и 5 изобретений.

В 1965 году окончил Харьковский государственный университет.

Крупный специалист в области микроэлектронной техники и технологии. Разработчик технологических процессов производства больших и сверхбольших интегральных систем, измерительных комплексов для метрологического сопровождения прецизионного производства и контроля этих изделий.

Внес большой научный и инженерный вклад в разработку программного комплекса для коррекции эффектов оптической близости и фазовых коррекций топологии сверхбольших интегральных систем с минимальными размерами 0.5 мкм. В 2001 г. под его руководством и непосредственном участии создана универсальная линейная мера микронного и нанометрового диапазона для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, аналогов которой в мировой практике не существует.

TOP100 самых популярных
персоналий
за месяц
Место Наименование Показов

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз