Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

НИОКР

Кремниевые микросенсоры и микросистемы: от бытовой техники до авиационных приборов / 15.04.2008

© Н.А. Шелепин

Источник: Журнал "Нано- и микросистемная техника"

Автор: Н.А. Шелепин, канд. техн. наук, ГНЦ РФ НПК "Технологический центр" МИЭТ

Представлены основные направления и результаты разработок микросенсоров и микросистем Государственного научного центра Российской Федерации НПК "Технологический центр" МИЭТ за период1994–1998 гг. Описаны основные характеристики и конструкции указанных сенсоров. Рассмотрены новые направления разработок по созданию сложных микросенсорных систем, проводимые в НПК ТЦ технология поверхностной микромеханики, технология многокристальных модулей; разработка специализированных аналогоцифровых интегральных схем преобразования сигналов сенсоров.

Научно-производственный комплекс "Технологический центр" (НПК ТЦ) основан при Московском институте электронной техники (МИЭТ) в 1988 г. В 1989 г. в "Технологическом центре" запущен комплект технологического и аналитического оборудования для обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм и изготовления фотошаблонов. В 1990 г выпущены первые микросхемы по технологии КМОП. В настоящее время микросхемы и микросенсоры изготовляются на производственных участках общей площадью 2200 м, включая чистые помещения класса "100" площадью 1000 м2.

Комплект технологического и аналитического оборудования обеспечивает выпуск до 1000 пластин диаметром 100 мм в месяц с проектными нормами до 1,5-1,2 мкм. Исследования и разработки "Технологического центра" можно условно разделить на три основных области микроэлектроника, микросистемная техника, микроэлектронная аппаратура.

В области технологий микросистем и микросенсоров исследования и разработки осуществляются с 1994 г. по технологии объемной микромеханики, а с 1997 г. - и по технологии поверхностной микромеханики.

Интегральные преобразователи механических величин и микродатчики на их основе

Интегральные преобразователи давления и модули на их основе. Первыми изделиями, разработанными и освоенными в производстве с использованием технологии объемной микрообработки, были кристаллы микросенсоров давления с плоской мембраной (интегральные преобразователи давления) ИПД-1 и ИПД-2. Их основные характеристики представлены в[1,2]. Изменение толщины и других размеров мембраны обеспечивает возможность изготовления преобразователей на номинальные давления от 0,1 до 30 МПа. Следует заметить, что на всей территории бывшего СССР технология изготовления преобразователей давления на пластинах диаметром 100 мм была разработана впервые. Технологами НПК ТЦ были решены проблемы:

 ·   формирования высококачественных масок для глубокого анизотропного травления в щелочи;

·   точного совмещения топологии мостовой схемы с топологией мембран на лицевой и обратной сторонах пластины (при отсутствии установок двухстороннего совмещения);

·   температурного гистерезиса "нуля".

Кроме того, разработанная  технология обеспечивает формирование на кристаллах преобразователей схемы температурной компенсации чувствительности, которая в последующем была реализована и на других кристаллах тензопреобразователей. Для расширения номенклатуры и удовлетворения потребностей отечественных производителей прецизионных датчиков разработана конструкция ИПД-4 с жестким центром для диапазонов давления 10-100 кПа, а также оригинальная конструкция кристалла ИПД-3 с тремя жесткими центрами и расположенными между ними параллельно друг другу резисторами мостовой схемы (рис. 1). Телевизоры поставляются различным организациям, среди которых особо следует отметить ОАО "АВТОЭЛЕКТРОНИКА" (г. Калуга), объем заказов которого в конце 1999 г. составил 5 тыс. шт. в месяц. В последние годы появилась новая форма взаимодействия с заказчиками, при которой "Технологический центр" обеспечивает изготовление кристаллов по их чертежам. Примером является кристалл ИПД-9, чертежи которого разработаны в НПП "Персей" (г. Раменское, Московская обл.). Эта фирма в последнее время является постоянным заказчиком данного изделия.

 

 

TOP100 самых популярных
научных разработок
за месяц
Место Наименование Показов
1

Кремниевые микросенсоры и микросистемы: от бытовой техники до авиационных приборов

Автор: Н.А. Шелепин, канд. техн. наук, ГНЦ РФ НПК "Технологический центр" МИЭТ Представлены основные направления и результаты разработок микросенсоров и микросистем Государственного научног

80
2

Монокристаллический кремний. Технология производства

Данная технология относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использована при получении монокристаллов кремния методом Чохральского. Данная технология относ

56
3

Магнитные наночастицы: проблемы и достижения химического синтеза

Основную часть обзора составляют три раздела собирательно названные по сути методов получения магнитных наночастиц - 1. Гидролиз, соосаждение, 2. Мицеллы и 3. Термолиз. Разделы окаймляются общим введе

49
4

Способы получить электричество из ничего

    Никогда не знаешь, когда может понадобиться электричество, будь это электричество для самодельных лампочек с обугленными волокнами бамбука вместо нити накаливания, чтобы

32
5

Технология нанесения наноструктурных покрытий методом магнетронного напыления

Возрастающий интерес к наноструктурным пленкам связан с их высокой твердостью, коррозионной стойкостью, износостойкостью, термостойкостью и улучшенными антифрикционными свойствами. Срок службы обрабат

30

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз

Анонсы событий