Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

Учеба

Фотолитография / 25.03.2010

© Батурин И. С.

Источник: Электронный архив УрГУ

Целью специальной дисциплины «Фотолитография» является ознакомление студентов с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.

Задачи дисциплины:
- изучение основных подходов и методов микро- и нанолитографии;
- изучение физических и химических процессов, протекающих в пленках резиста при их нанесении, термической обработке, экспонировании и проявлении;
- изучение процессов формирования изображения в слое резиста при его экспонировании в контактной и проекционной фотолитографии;
- обзор различных методов нанолитографии;
- изучение основ технологий переноса рисунка со слоя фоторезиста на поверхность пластины с помощью нанесения, травления или модификации поверхности;
- обзор основных тенденций и перспектив развития микроэлектронной промышленности и технологий микро- и нанолитографии в частности;
- ознакомление с технологией чистых помещений, чистых технологических сред и чистых материалов.

В рамках данного курса будет рассмотрен весь спектр современных методов микро- и нанолитографии. Основное внимание уделяется методам фотолитографии с отдельным акцентом на применение этих методов в нанотехнологиях. Кроме того, в рамках данного курса также рассмотрены основные не фотолитографические методы наноструктурирования поверхности материалов, среди которых основными являются электроннолучевая и наноимпринт литография.

Файлы для презентации 35703Kb Архив ZIP - WinRAR 
Вопросы для самоконтроля 122Kb Adobe PDF 
Презентация курса лекций 29812Kb Microsoft Powerpoint 
Экзаменационные материалы 117Kb Adobe PDF 
Методические указания 249Kb Adobe PDF 
Программа дисциплины 202Kb Adobe PDF 

TOP100 самых популярных
учебных материалов
за месяц
Место Наименование Показов
1

Нанотехнологии в медицине и фармации

  Сегодня много говорят о том, что человечество стоит на пороге новой научно-технической революции — нанотехнологической. Пожалуй, не существует исчерпывающего определения понят

469
2

Реферат на тему: Нанотехнологии в современном мире

  Полный реферат на тему: Нанотехнологии в современном мире. В нем рассмотрены все важные аспекты данной проблемы, и раскрыты все разделы.   СОДЕРЖАНИЕ   &nb

295
3

Нанотехнологии и нанофизика — открытия и перспективы

Юрий Лозовик: "Я хотел рассказать о некоторых первых шагах нанотехнологии и о том, как нанотехнология связана с фундаментальными науками, как они друг друга взаимно дополняют и обогащают. Вообще, лиди

263
4

Цикл научно-популярных видео лекций «Мир нанотехнологий»

Лекции созданы издательством «БИНОМ. Лаборатория знаний» по заказу ГК «РОСНАНО». Целью таких лекций является разъяснение основных понятий и терминов, раскрывающих наиболее перспективные области исполь

220
5

Программы Наноцентра МЭИ

Наноцентр образован в 2004 году на базе Московского Энергетического Института (Технического университета), Государственной Компании "Российская электроника", Акционерными обществами "Ангстрем" и NT-MD

211

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз

Анонсы событий