Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

Учеба

Фотолитография / 25.03.2010

© Батурин И. С.

Источник: Электронный архив УрГУ

Целью специальной дисциплины «Фотолитография» является ознакомление студентов с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.

Задачи дисциплины:
- изучение основных подходов и методов микро- и нанолитографии;
- изучение физических и химических процессов, протекающих в пленках резиста при их нанесении, термической обработке, экспонировании и проявлении;
- изучение процессов формирования изображения в слое резиста при его экспонировании в контактной и проекционной фотолитографии;
- обзор различных методов нанолитографии;
- изучение основ технологий переноса рисунка со слоя фоторезиста на поверхность пластины с помощью нанесения, травления или модификации поверхности;
- обзор основных тенденций и перспектив развития микроэлектронной промышленности и технологий микро- и нанолитографии в частности;
- ознакомление с технологией чистых помещений, чистых технологических сред и чистых материалов.

В рамках данного курса будет рассмотрен весь спектр современных методов микро- и нанолитографии. Основное внимание уделяется методам фотолитографии с отдельным акцентом на применение этих методов в нанотехнологиях. Кроме того, в рамках данного курса также рассмотрены основные не фотолитографические методы наноструктурирования поверхности материалов, среди которых основными являются электроннолучевая и наноимпринт литография.

Файлы для презентации 35703Kb Архив ZIP - WinRAR 
Вопросы для самоконтроля 122Kb Adobe PDF 
Презентация курса лекций 29812Kb Microsoft Powerpoint 
Экзаменационные материалы 117Kb Adobe PDF 
Методические указания 249Kb Adobe PDF 
Программа дисциплины 202Kb Adobe PDF 

TOP100 самых популярных
учебных материалов
за месяц
Место Наименование Показов
1

Машины созидания Эрика Дрекслера

Автор: К.Ю.Богданов  Нанотехнология стала самостоятельной областью науки и превратилась в долгосрочный технический проект после детального анализа, проведенного американским учёным Эриком Дрекслером (

63
2

Нанотехнологии и нанофизика — открытия и перспективы

Юрий Лозовик: "Я хотел рассказать о некоторых первых шагах нанотехнологии и о том, как нанотехнология связана с фундаментальными науками, как они друг друга взаимно дополняют и обогащают. Вообще, лиди

43
3

Формулы по химии (таблицы)

  В современном мире трудно найти человека, которому не будут полезны формулы по химии.           

42
4

Реферат на тему "Нанотехнологии и безопасность страны"

Одним из перспективных направлений создания новейшей индустрии систем безопасности, адекватных современным угрозам, является использование инновационных достижений в области нанотехнологий, открывающи

41
5

Углеродные нанотрубки

В настоящее время технология достигла критической точки своего развития, когда применение микрообъектов уже невозможно. Нужно переходить на новый - наноуровень. В связи с этим возникла необходимость п

40

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?

Реклама нефтегаз

Анонсы событий