Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Мишени магнетронного распыления

Поставщик - Гиредмет, Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Мишени магнетронного распыления используются в качестве катодов при нанесении покрытий (пленок) в виде металлов и их соединения – оксидов, нитридов, карбидов, силицидов.
В технологии нанесения пленок выделяют следующие основные категории слоев: проводящие слои и контакты: Al, Ti, Mo, Cr, Co, а также сплавы: Al-Si (0,5-2%), Al-Cu (0,5-4%), Al-Ti (1,5%), AlCuTi, AlSiTi, AlSiCu; барьерные слои: Ti, Mo, Ta, TiW (10%) и их сочетания с азотом, которые обычно формируются реактивным распылением; разистивные слои: Ta, AlTa, CrSiO и другие, которые, в основном, изготавливаются методом порошковой металлургии.
Институтом Гиредмет разработаны уникальные технологии получения сплавов для мишеней магнетронного распыления, позволяющие выдерживать точное соотношение высокочистых исходных материалов.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?