ПОПУЛЯРНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Модуль UHV SPM

Тип, марка - UHV SPM

Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Модуль UHV SPM - cверхвысоковакуумный модуль СЗМ платформы НАНОФАБ 100 относится к группе контрольно-измерительных модулей и предназначен для проведения АСМ и СТМ входного контроля п/п пластин, измерений параметров и исследований характеристик наноструктур и наноэлементов, функционального контроля наноструктур и наноэлементов, острийно-зондовых нанолитографических и наноманипуляционных операций. Он позволяет реализовать на 100 мм подложке более 40 СЗМ методик измерения поверхностных характеристик при вакууме 10-10 мбар.
В базовой комплектации модуль UHV SPM включает две связанные транспортной системой сверхвысоковакуумные камеры - СЗМ камеру и Зондовую камеру. Каждая из камер снабжена отдельным ионным насосом, предварительная откачка камер осуществляется станцией предварительной откачки. СЗМ камера снабжена системой активной виброзащиты. При автономной работе модуль может комплектоваться дополнительной Загрузочной камерой.

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?