Каталог
Каталог/Продукция/Нанопродукция и разработки по отраслям/Медицина/Оборудование для работы с нанопродукцией/Металлургия /Электрооборудование/Анализ, измерения, тесты/Гели/нанопорошки/закономерности взаимодействия наноматериалов с другими веществами /Экономика и управление/Промышленное/Гражданское/Технико-экономические обоснования/Оценка и оптимизация процессов /переключатели /устройства памяти и мемристоры /квантовые компьютеры (для криптографии) /нейросетевые компьютеры (для обработки изображений) /гетерогенные интегральные наносистемы /Биосовместимая нанокерамика/
Shallow Probe
Тип, марка - Cameca
Поставщик - КОМЕФ, ООО
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Метрологический прибор с высокой производительностью для линии FAB для измерений состава и толщины имплантантов ULE и сверхтонких пленок. Основан на недеструктивном методе LEXES и совместим с анализом промышленных подложек. Обработке подвергаются кассеты с 200- и 300-мм подложками, что полностью соответствует стандартам SEMI и SECS/GEM. Применение: количественная оценка B, Ge и C в SiGe, измерение примесей при сверхнизкой энергии и количественная оценка азота-кислорода в сверхтонких оксинитридах.