Популярные Нано Технологии

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Shallow Probe

Тип, марка - Cameca

Поставщик - КОМЕФ, ООО

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Метрологический прибор с высокой производительностью для линии FAB для измерений состава и толщины имплантантов ULE и сверхтонких пленок. Основан на недеструктивном методе LEXES и совместим с анализом промышленных подложек. Обработке подвергаются кассеты с 200- и 300-мм подложками, что полностью соответствует стандартам SEMI и SECS/GEM. Применение: количественная оценка B, Ge и C в SiGe, измерение примесей при сверхнизкой энергии и количественная оценка азота-кислорода в сверхтонких оксинитридах.

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?