ПОПУЛЯРНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Поиск предприятий

Страна
Регион России

Каталог

Модуль PE

Тип, марка - PE

Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Модуль плазменного травления - модуль PE (Plasma Etching).
Плазменные модули являются полностью автоматизированными шлюзовыми установками поштучной обработки полупроводниковых пластин. Они снабжены генератором плазмы высокой плотности со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13.56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Модуль PE:
- субмикронное скоростное травление диэлектриков (SiO2, Si3N4) со скоростями порядка 1 мкм/мин;
- травление металлов, в том чмсле и чисто ионное травление золота, меди и других металлов, не образующих летучих соединений, травление производится через резистивные и металлические маски (скорость травления по золоту более 0.2 мкм/мин);
- травление монокристаллического кремния в различных типах процессов. Конструкция установок допускает применение «криогенного стола», скорость травления кремния ограничена только откачными средствами и может достигать 5 мкм/мин;
- травление арсенида и нитрида галлия в производстве пп лазеров и светодиодов, в том числе областей под омические контакты;
- травление полиимида с высокими скоростями, снятие резиста.

Технические характеристики

Авторизация

логин
пароль
Регистрация Забыли пароль?