Каталог
Модуль PED
Тип, марка - PED
Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО
Ед. изм. - шт
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Плазменные модули являются полностью автоматизированными шлюзовыми установками поштучной обработки полупроводниковых пластин. Они снабжены генератором плазмы высокой плотности со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13.56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Модуль PED:
- осаждение диэлектриков с хорошим качеством и равномерностью (SiO2, Si3N4), из моносилана с кислородом и азотом при «комнатных» температурах подложки.
Технические характеристики
Предельный вакуум в рабочей камере (Па) |
2,5х10 (в -4 степени) |
количество каналов рабочих газов |
до 8 |
количество каналов агрессивных газов (Cl2, SiCl4 и т.д.) |
до 4 |
расход рабочих газов, л/час |
0 - 3,6 |
частота напряжения смещения |
100 кГц или 13,56 МГц |
мощность подаваемая на столик (Вт) |
до 900 |
равномерность на диаметре 216; 100 мм при травлении SiO2 (%) |
менее 1 % |
Диапазон рабочих давлений (Па) |
5х10 (в -2 степени) - 5 |
Необходимые подключения |
холодная вода с температурой от +5 до 20оС , под давлением 3±1 атм; сжатого воздуха под давлением 5-6 атм; рабочих газов марки ОСЧ под давлением 1-5 атм; выхлопа форвакуумных агрегатов к вытяжной вентиляции |