Каталог

Тип, марка - PED

Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО

Ед. изм. - шт

Цена с НДС - дог.

Валюта - руб

Плазменные модули являются полностью автоматизированными шлюзовыми установками поштучной обработки полупроводниковых пластин. Они снабжены генератором плазмы высокой плотности со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13.56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Модуль PED:
- осаждение диэлектриков с хорошим качеством и равномерностью (SiO2, Si3N4), из моносилана с кислородом и азотом при «комнатных» температурах подложки.

Технические характеристики