Каталог
Система подачи ТЭОС
Поставщик - Научно-Исследовательский Институт Точного Машиностроения (НИИТМ) , ОАО
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Система автоматической прецизионной подачи реагента ТЭОС с термостатированием
Назначение и применение:
- Непрерывная прецизионная подача реагента тетраэтилортосиликата (ТЭОС) в реактор технологического оборудования, используемого в микроэлектронном производстве и нанотехнологиях для осаждения плёнок двуокиси кремния.
- Система обеспечивает стабильность технологических режимов оборудования и работает в автоматическом режиме автономно. Возможно управление от микропроцессорной системы управления (МПСУ).
Оснащение:
- Питатель с резистивным нагревателем и датчиком верхнего уровня жидкого ТЭОС.
- Газовая система.
- Термостатирующая система – бокс (с питателем, элементами газовой системы) и выходной трубопровод.
- Резервная ёмкость с датчиками уровня.
- Блок управления процессом и термостатированием.
Особенности:
- Используется принцип насыщения азота парами при его барботировании через ТЭОС.
- Поддержание постоянного уровня ТЭОС в питателе (критично при барботировании).
- Термостатирование обеспечивается в трёх независимых подсистемах:
-- управление нагревом питателя;
-- термостатирование бокса с элементами газовой системы;
-- стабилизация температуры выходного трубопровода
- Автоматическая дозаправка питателя из резервной ёмкости в процессе работы системы.