Каталог
Сверхвысоковакуумный кластер нанолокальных технологий
Тип, марка - UHV кластер
Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО
Ед. изм. - шт
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Особенностью кластера является проведение процессов с применением фокусированных ионных пучков в условиях сверхвысокого вакуума, что обеспечивает предельную чистоту поверхности формируемых структур. При этом наличие UHV SPM обеспечивает контроль получаемых структур с субнанометровым разрешением.
В состав кластера входят:
- Сверхвысоковакуумный модуль сканирующего зондового микроскопа ( Модуль UHV SPM);
- Сверхвысоковакуумный модуль фокусированных ионных пучков (Модуль UHV FIB );
- Сверхвысоковакуумный модуль нанолокальной имплантации фокусированными ионными пучками (Модуль UHV FIB Imp);
- Модуль загрузки для нанолокальных технологий (Модуль FUL);
- Сверхвысоковакуумный радиальный транспортный модуль (Модуль RDC).