Каталог
ИНТЕГРА Аура
Тип, марка - ИНТЕГРА Аура
Поставщик - НТ-МДТ, ЗАО
Ед. изм. - шт
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
СЗМ комплекс ИНТЕГРА Аура позволяет проводить измерения в условиях вакуума до 10 (в -2 степени) Торр, что предоставляет целый ряд преимуществ. Это относится как к повышению чувствительности измерений за счет повышения добротности колебаний кантилевера, так и к возможности проведения измерений без вредного влияния поверхностного адсорбата.
Дополнительные возможности представляются наличием в комплектации термостолика, позволяющего производить нагрев образца до 130С и поддерживать заданную температуру с точностью до 0.05С.
При необходимости ИНТЕГРА Аура позвляет проводить измерения в атмосфере с контролируемым газовым составом.
ИНТЕГРА Аура позволяет с нанометровым разрешением проводить исследование поверхностных характеристик и приповерхностных физических полей различных объектов, допускающих их размещение в вакууме.
Технические характеристики
Размер образца (Сканирование образцом) |
До 40 мм в диаметре, to 15 мм в высоту |
Размер образца (Сканирование зондом) |
До 100 мм в диаметре, up to 15 мм в высоту |
Вес образца (Сканирование образцом) |
Up to 100 г |
Вес образца (Сканирование зондом) |
Up to 300 г |
XY позиционирование образца |
5x5 мм |
Разрешение позиционирования |
разрешение-5 мкм, минимальное перемещение-2 мкм |
Поле сканирования (Сканирование образцом) |
100x100x10 мкм, 3x3x2,6 мкм, Up to 150x150x15 um |
Поле сканирования (Сканирование зондом) |
100x100x10 мкм, 50x50x5 мкм, (DualScanTMmode) |
Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) (Сканирование образцом) |
0.1% |
Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) (Сканирование зондом) |
0.15% |
Термоконтроль, диапазон |
От КТ до +150C |
Термоконтроль, стабильность |
±0.005°C (типично), =/< ±0.01°C |
Vacuum system, давление |
10 (в -2 степени) Тор |
Виброизоляция активная - пассивная |
0.7-1000 Гц - выше 1 кГц |
Система видеонаблюдения (Оптическое разрешение) |
1 мкм - 3 мкм |
Система видеонаблюдения, поле зрения |
4.5-0.4 мм - 2.0-0.4 мм |
Система видеонаблюдения, непрерывное увеличение |
возможно |