Каталог
Вакуумная установка магнетронного нанесения каталитических слоев наноструктур "НАНОМАГНА"
Поставщик - Научно-Исследовательский Институт Точного Машиностроения (НИИТМ) , ОАО
Цена с НДС - дог.
Валюта - руб
Назначение и применение:
нанесение металлических (магнитных и немагнитных) пленок для формирования каталитических слоев наноструктур (Fe,Ni,Co и др.).
Оснащение:
- рабочая камера с магнетронным распылительным устройством для осаждения пленок на подложки диаметром до 150 мм.
- шлюзовая система поштучной загрузки-выгрузки подложек.
- планарное магнетронное распылительное устройство (МРУ) с источником питания на постоянном токе или ВЧ-птания с дисковой мишенью 280 мм или мультикатодное МРУ с тремя мишенями диаметром 100 мм для нанесения многослойных или многокомпонентных пленок заданного состава.
- безмаслянная система откачки.
- микропроцессорная система управления.
- встраивается в "чистую" комнату.