ПОПУЛЯРНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Кадры

Фотогалерея

Новости

Жесткий ультрафиолет на благо литографии / 17.07.2008

 

Новый, более дешевый источник излучения для литографии с использованием жесткого ультрафиолета был запатентован Калифорнийским университетом в Сан-Диего в сотрудничестве с компанией Cymer, специализирующейся на выпуске лазеров для фотолитографических систем.

Суть предложения заключается в использовании относительно недорогих лазеров на базе двуокиси углерода в 32-нм и более «тонких» техпроцессах. При этом время импульса должно увеличиться от 20 наносекунд, что характерно для современных EUV-лазеров, до более чем 100 наносекунд.

 

В настоящее время в качестве наиболее вероятных претендентов среди литографических технологий для производства по 22-нм и менее нормам рассматриваются EUV, двойные шаблоны, нанопечать, и электроннолучевая литография множественным пучком. Но, судя по текущему состоянию дел, производители по большей части полагаются именно на EUV-литографию. Компании ASML и Nikon независимо друг от друга планируют представить предварительные версии EUV-инструментов к концу 2009 г. В этом оборудовании будут использоваться лазер-плазменные источники излучения производства компании Cymer. Источники сообщают, что японская компания GigaPhoton также активно реализует программу по разработке и выпуску LPP-продукции.
 

 

 


Другие новости по теме:
28.11.20 - Дисплей телефона на основе перовскита
19.11.20 - Ученые заставили дерево сиять
09.11.20 - Две тысячи градусов по Цельсию
08.11.20 - Концепция химического пространства: предсказание свойств вещества
03.11.20 - Лазерный скальпель с искривленным самоускоряющимся световым лучом
TOP100 самых популярных
новостей
за месяц
Место Наименование Показов
1

Американские ученые обнаружили гигантскую черную дыру

  Ученые обнаружили сверхмассивную черную дыру, находящуюся в 200 млн световых лет от Земли, и масса которой в 17 млрд раз превышает массу Солнца. Об открытии сообщ

4
2

Алмазы – лучшие друзья суперкомпьютера

Калифорнийские ученые придумали коммерчески выгодную технологию создания алмазов с азотными микрополостями, которые могут стать ключевым элементом суперкомпьютеров нового поколения.

4
3

Мосфильм запустил легальный видеопортал

«Мосфильм» запустил «первый легальный портал», на котором можно бесплатно смотреть фильмы киноконцерна. В двухтысячные «Мосфильм» снял около десятка картин, большей частью — главы студии Карена

4
4

Нобелевская премия по физике присуждена сегодня за исследование черных дыр

Нобелевскую премию по физике 2020 года получили Роджер Пенроуз "за открытие того, что образование черной дыры является надежным предсказанием общей теории относительности", а также Рейнхар

3
5

Человекообразный робот заявил, что будет уничтожать людей (видео)

  Андроид с имененм София, утвердительно ответила на вопрос от создателя, будет ли она уничтожать людей. Впервые привели в действие робота еще в апреле 2

3

Анонсы событий