ПОПУЛЯРНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

НИОКР

Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне / 15.11.2008

© А.Ю.Кузин, д-р техн. наук, В.Н.Марютин, канд. физ.-мат. наук, В.В.Календин

Источник: Журнал "Нано- и микросистемная техника"

Рассматриваются вопросы разработки методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. При этом учитываются перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы (минимального размера элемента, например, ширины затвора полевых транзисторов) от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции до 1% номинального размера, ужесточение точности совмещения топологических рисунков, уменьшение шага металлической разводки от 1,0 до 0,3 мкм

Создание новой техники, наукоемких технологий и новых материалов, обеспечивающих коренные сдвиги в структуре и техническом уровне производства, а также выход отечественного производства на мировой уровень, в значительной мере сдерживается недостаточным уровнем метрологического обеспечения.

Из-за отставания техники сверхточных измерений на атомном и молекулярном уровнях, отсутствия специальных исходных методов и средств обеспечения единства прецизионных измерений затянулось внедрение высших экологически чистых перспективных технологий в базисных отраслях экономики.

Интенсивное развитие нанотехнологии требует создания системы метрологического обеспечения измерений, в первую очередь, длины в нанометровом диапазоне.

Большинство средств измерений длины в нанометровом диапазоне, обеспечивающих достижение предельных возможностей измерений, основано на таких физических принципах, как растровая электронная и оптическая микроскопия, сканирующая зондовая микроскопия, лазерная интерферометрия и фазометрия. Ряд приборов, реализующих тот или иной физический принцип, используется в нанотехнологии, а также в качестве инструмента для создания наноструктур.

В настоящее время рядом ведущих зарубежных фирм Jeol (Япония), Digital Instruments, Hewlett Packard (США), Burleigh Perten (Германия), Nanosurf, NFL (Великобритания) производится широкий спектр средств измерений длины в нанометровом диапазоне. Следует отметить, что и наши производители (например, АОЗТ “НТ-МДТ”, “КПД”, Зеленоград) приступили к выпуску контрольно-измерительного оборудования, реализующего принципы сканирующей зондовой микроскопии.

Практически большинство измерительных средств находится вне сферы метрологического обслуживания, осциллограф не проходит сертификационных испытаний и не обеспечено средствами калибровки и поверки. Все это снижает уровень контрольно-измерительных операций при производстве изделий микро-, наноэлектроники, не гарантирует единства и достоверности данных измерений и, тем самым, наносит существенный материальный ущерб в базовых отраслях экономики.

Анализ состояния измерений длины в микро- и нанометровом диапазонах показывает, что метрологическое обеспечение таких измерений, включающее в себя эталоны, установки высшей точности, меры малой длины и стандартные образцы нанорельефа поверхности, аттестованные рабочие средства измерений, а также соответствующая Государственная поверочная схема и нормативная документация находятся в стадии разработки.

Следует отметить, что ведущие страны мира, занимающие ключевые позиции в микроэлектронике (Япония, США, Германия, Великобритания и др.), вопросам внедрения метрологии в практику линейных измерений в микро- и нанометровом диапазонах уделяют первостепенное значение.

TOP100 самых популярных
научных разработок
за месяц
Место Наименование Показов
1

Магнитные наночастицы: проблемы и достижения химического синтеза

Основную часть обзора составляют три раздела собирательно названные по сути методов получения магнитных наночастиц - 1. Гидролиз, соосаждение, 2. Мицеллы и 3. Термолиз. Разделы окаймляются общим введе

330
2

Монокристаллический кремний. Технология производства

Данная технология относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использована при получении монокристаллов кремния методом Чохральского. Данная технология относ

239
3

Технология нанесения наноструктурных покрытий методом магнетронного напыления

Возрастающий интерес к наноструктурным пленкам связан с их высокой твердостью, коррозионной стойкостью, износостойкостью, термостойкостью и улучшенными антифрикционными свойствами. Срок службы обрабат

161
4

Способы получить электричество из ничего

    Никогда не знаешь, когда может понадобиться электричество, будь это электричество для самодельных лампочек с обугленными волокнами бамбука вместо нити накаливания, чтобы

67
5

Главная загадка квантовой механики (видео)

В видео раскрывается главная загадка квантовой механики доступным языком. Для введения в курс, кратко о том, что такое квантовая механика. Квантовая механика — раздел теоретической физики, о

63

Анонсы событий