Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

НИОКР

Микрозеркала в кремниевом кристалле / 07.04.2008

© Н.А.Зайцев

Источник: Журнал "Нано- и микросистемная техника"

Автор: Н.А.Зайцев, д-р техн. наук, ОАО "НИИМЭ и Микрон"

Рассматриваются вопросы создания поворачивающегося зеркала в кремниевом кристалле. Характерной чертой мирового развития последнего десятилетия в области технологии микросистемной техники (МСТ) является интеграция электроники, механики и оптики. К основным потребителям изделий микроопто-электромеханических систем (МОЭМС) относятся изготовители различных модуляторов оптического излучения и каналов оптоволоконной связи с коммутаторами на микрозеркалах. Поворачивающееся микрозеркало в кремниевом кристалле создано на предприятии ОАО "НИИМЭ и Микрон" на основе микроэлектронного производства трехмерных МОЭМС.

Анализ конструкции позволил определить базовый состав компонентов, из которых формируется большинство этих приборов и Мелкая бытовая техника. С целью сокращения сроков разработки и отработки технологических маршрутов изготовления данных приборов был определен базовый перечень компонентов, из которых как из кирпичиков изготовляют МОЭМС.

Узел микрозеркала состоит из следующих основных компонентов:

·    микропетли ‑ конструкционного элемента, с помощью которого соединяются конструкции прибора, лежащие в плоскости или на пластине (рис. 1,а,б,в);

·    актюатора, осуществляющего отрыв подвижной части конструкции от плоскости кремниевой пластины (рис. 2);

·    микропривода, служащего для перемещения подвижной части конструкции в необходимое положение (рис. 3);

· электрода управления (рис. 4,а,б), с помощью которого осуществляется управление микрозеркалом (рис. 5,а) в волоконно-оптическом микропереключателе;

·    микрозеркал, предназначенных для использования в микросканерах и дисплеях (рис. 5,б и в).

TOP100 самых популярных
научных разработок
за месяц
Место Наименование Показов
1

Монокристаллический кремний. Технология производства

Данная технология относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использована при получении монокристаллов кремния методом Чохральского. Данная технология относ

244
2

Магнитные наночастицы: проблемы и достижения химического синтеза

Основную часть обзора составляют три раздела собирательно названные по сути методов получения магнитных наночастиц - 1. Гидролиз, соосаждение, 2. Мицеллы и 3. Термолиз. Разделы окаймляются общим введе

149
3

Главная загадка квантовой механики (видео)

В видео раскрывается главная загадка квантовой механики доступным языком. Для введения в курс, кратко о том, что такое квантовая механика. Квантовая механика — раздел теоретической физики, о

125
4

Углеродные нанотрубки для наноробототехники

Перевод: Батук Д.Н., Ефремова М.М. Благодаря своему строению, исключительной механической прочности и уникальным электрическим характеристикам, углеродные нанотрубки являются перспективным материалом

89
5

Многофункциональные наноструктурные пленки

Автор: Е.А.Левашов Новые материалы являются основой технологий 21 века, а индустрия наносистем и материалов - одно из приоритетных направлений развития науки и техники, влияющих сегодня почти на все

75

Анонсы событий