Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

НИОКР

Микрооптоэлектромеханические системы для приемников инфракрасного диапазона волн / 07.04.2008

© В.Н.Федоринин

Источник: Журнал "Нано- и микросистемная техника"

Автор: В.Н.Федоринин, канд. техн. наук, Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН

Рассматриваются варианты построения микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС) для инфракрасного диапазона длин волн. В последнее десятилетие мирового развития в области технологии микросистемной техники (МСТ) появилась новая ветвь интеграции механики и оптики, относящаяся к микрооптоэлектромеханическим системам (МОЭМС) в инфракрасном диапазоне длин волн. Развитие тепловизионных приборов и систем как гражданского, так и военного назначения напрямую зависят от достижений в сфере технологии матричных фотоприемных устройств (ФПУ).

В настоящее время требования, предъявляемые к современной тепловизионной аппаратуре и Мелкая бытовая техника, выдвигают в сфере матричных технологий следующие основные задачи:

·    увеличение формата ФПУ;

·    повышение чувствительности;

·    снижение массогабаритных и энергетических характеристик.

В таблице представлены результаты, достигнутые в современных матричных технологиях.

Основные параметры матричных фотоприемных устройств

Наименование параметров

Спектральный диапазон, мкм

0,6-0,9

8-12
(фотонные)

8-12
(тепловые)

Число элементов

5Ч106

> 105

> 8Ч104

Масса, г

5-20

< 500

< 50

Потребление, Вт

0,05-0,1

2-10

0,5-1

Температурное разрешение, мК

 

10-40

80-100

Из таблицы видно, что наиболее высокие результаты получены на кремниевых матрицах на приборах с зарядовой связью (ПЗС), работающих в видимом диапазоне спектра. Число элементов в таких матрицах превышает 5 млн. Сегодня такие матрицы широко используются в системах цифровой фотографии. В то же время число элементов в современных матричных ФПУ, работающих в инфракрасной области 8-12 мкм, более чем в 50 раз меньше.



 

 

TOP100 самых популярных
научных разработок
за месяц
Место Наименование Показов
1

Монокристаллический кремний. Технология производства

Данная технология относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использована при получении монокристаллов кремния методом Чохральского. Данная технология относ

244
2

Магнитные наночастицы: проблемы и достижения химического синтеза

Основную часть обзора составляют три раздела собирательно названные по сути методов получения магнитных наночастиц - 1. Гидролиз, соосаждение, 2. Мицеллы и 3. Термолиз. Разделы окаймляются общим введе

149
3

Главная загадка квантовой механики (видео)

В видео раскрывается главная загадка квантовой механики доступным языком. Для введения в курс, кратко о том, что такое квантовая механика. Квантовая механика — раздел теоретической физики, о

125
4

Углеродные нанотрубки для наноробототехники

Перевод: Батук Д.Н., Ефремова М.М. Благодаря своему строению, исключительной механической прочности и уникальным электрическим характеристикам, углеродные нанотрубки являются перспективным материалом

89
5

Многофункциональные наноструктурные пленки

Автор: Е.А.Левашов Новые материалы являются основой технологий 21 века, а индустрия наносистем и материалов - одно из приоритетных направлений развития науки и техники, влияющих сегодня почти на все

75

Анонсы событий