Популярные Нано Технологии

Размещение материала

Для размещения материала в данном разделе заполните пожалуйста эту форму.

Кадры

Фотогалерея

Биржа

Учеба

Фотолитография / 25.03.2010

© Батурин И. С.

Источник: Электронный архив УрГУ

Целью специальной дисциплины «Фотолитография» является ознакомление студентов с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.

Задачи дисциплины:
- изучение основных подходов и методов микро- и нанолитографии;
- изучение физических и химических процессов, протекающих в пленках резиста при их нанесении, термической обработке, экспонировании и проявлении;
- изучение процессов формирования изображения в слое резиста при его экспонировании в контактной и проекционной фотолитографии;
- обзор различных методов нанолитографии;
- изучение основ технологий переноса рисунка со слоя фоторезиста на поверхность пластины с помощью нанесения, травления или модификации поверхности;
- обзор основных тенденций и перспектив развития микроэлектронной промышленности и технологий микро- и нанолитографии в частности;
- ознакомление с технологией чистых помещений, чистых технологических сред и чистых материалов.

В рамках данного курса будет рассмотрен весь спектр современных методов микро- и нанолитографии. Основное внимание уделяется методам фотолитографии с отдельным акцентом на применение этих методов в нанотехнологиях. Кроме того, в рамках данного курса также рассмотрены основные не фотолитографические методы наноструктурирования поверхности материалов, среди которых основными являются электроннолучевая и наноимпринт литография.

Файлы для презентации 35703Kb Архив ZIP - WinRAR 
Вопросы для самоконтроля 122Kb Adobe PDF 
Презентация курса лекций 29812Kb Microsoft Powerpoint 
Экзаменационные материалы 117Kb Adobe PDF 
Методические указания 249Kb Adobe PDF 
Программа дисциплины 202Kb Adobe PDF 

TOP100 самых популярных
учебных материалов
за месяц
Место Наименование Показов
1

Реферат на тему: Нанотехнологии в современном мире

  Полный реферат на тему: Нанотехнологии в современном мире. В нем рассмотрены все важные аспекты данной проблемы, и раскрыты все разделы.   СОДЕРЖАНИЕ   &nb

320
2

Получение и исследование Pb, Nd-содержащих твердых растворов на основе гексаферрита стронция с помощью различных методов

Магнитные материалы играют важную роль в развитии высоких технологий. Синтезированные в середине двадцатого века материалы на основе фазы гексаферрита М-типа до сих пор привлекают внимание исследовате

165
3

Предложение о партнёрстве от польского института

Институт оптоэлектроники (Польша, Варшава) ищет партнёров для проекта 7РП. Название организации: Institute of Optoelectronics, Military University of Technology Название проекта: Nanomodified materi

155
4

Курс лекций для студентов, аспирантов, молодых ученых «Неравновесные процессы и математическое описание процессов кристаллизации»

Физические основы реконструкции процессов направленной кристаллизации. Одномерные математические модели процессов направленной кристаллизации. Тестовые вычислительные эксперименты. Двухмерные математ

134
5

Формулы по химии (таблицы)

  В современном мире трудно найти человека, которому не будут полезны формулы по химии.           

56